潔凈室(CleanRoom),亦稱無塵車間或清凈室。是指一個具有低污染水平的環(huán)境,這里所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發(fā)性氣體。更準確地講,一個凈室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數(shù),或者用顆粒大小來厘定的。
低級別的凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的(如沒有受控的微生物),更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。凈室被廣泛地應(yīng)用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)等,其中以半導體業(yè)其對室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內(nèi),才不會對制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施,凈室可以占據(jù)廠房很多位置。